金融界2024年11月21日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中环抢先半导体科技股份有限公司请求一项名为“一种载具的清洁办法”的专利，公开号 CN 118976753 A，请求日期为2024年7月。
专利摘要显现，本请求公开了一种载具的清洁办法，触及半导体制作技术领域。载具的清洁办法，用于清洁外延反响后的载具，载具上覆设有涂层，涂层的一侧设有堆积层，清洁办法有：去除至少部分堆积层得到覆设有涂层的载具对覆设有涂层的载具进行热 处理和外表处理，以完结对载具的清洁。本请求经过将外延反 应后的载具进行堆积层去除、加热处理以及外表处理等清洁处理，能轻松完结载具的清洁，一起还能大大的提高载具的运用寿数。
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